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国内刊号：21-1137/TP
国际刊号：1002-0446
发布日期:
作者：吴高华, 杨依领, 李国平, 娄军强, 魏燕定
关键词：微动平台, 柔顺机构, 压电驱动, 多自由度
考虑到微装配和微操作任务对微动平台高位移增幅比、多自由度和低输出耦合比的要求，结合柔顺放大机构和复合平行四边形机构，设计了一种并联式x-y-θ微动平台．首先根据伪刚体方法得到了微动平台的静、动力学模型，然后采用有限元仿真分析了平台的输出位移、转动角度、共振频率和输出耦合比，最后搭建实验测控系统验证了微动平台的开环性能．实验结果表明：微动平台在x和y轴方向的位移增幅比分别为8.1和8.3；当输入位移为20μm时，平台的行程为162.2μm×165.6μm×2547.1μrad，x、y平动方向的1阶共振频率为224.6 Hz和227.7 Hz，x与y轴方向平动时的输出耦合比分别为0.86%和0.91%．位移增幅比和1阶共振频率的实验结果与有限元仿真之间的相对误差分别小于27.2%和6.4%，故而实验测试验证了理论模型和有限元仿真分析的有效性．
来源：2020年第1期
《机器人》期刊编辑部
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